Фрезерование сфокусированным ионным пучком и фемтосекундная лазерная абляция
Лазерные системы Thermo Scientific Helios 5 PFIB сочетают в себе плазменное фрезерование сфокусированным ионным пучком с фемтосекундной лазерной абляцией и визуализацией SEM (сканирующая электронная микроскопия). Эта комбинация "TriBeam" позволяет получать изображения и анализы высокого разрешения с возможностью абляции in situ, обеспечивая беспрецедентную скорость удаления материала для быстрого определения характеристик в миллиметровом масштабе с нанометровым разрешением.
Фемтосекундный лазер может разрезать многие материалы со скоростью, на порядки превышающей скорость обычного FIB. Большое поперечное сечение (сотни микрометров) может быть создано менее чем за пять минут. Поскольку лазер имеет другой механизм удаления (абляция по сравнению с ионным напылением в FIB), он может легко обрабатывать сложные материалы, такие как непроводящие или чувствительные к ионному пучку образцы.
Чрезвычайно короткая длительность фемтосекундных лазерных импульсов практически не приводит к появлению артефактов, таких как тепловое воздействие, микротрещины, плавление или те, которые характерны для традиционной механической полировки. В большинстве случаев отфрезерованные лазером поверхности достаточно чисты для прямой визуализации методом РЭМ и даже для таких чувствительных к поверхности методов, как дифракция обратного рассеяния электронов (EBSD).
Мы предлагаем широкий ассортимент продукции и передовые возможности автоматизации для таких применений, как подготовка образцов для просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ), подготовка образцов для атомной зондовой томографии (АЗТ) и 3D-структурный анализ.
Подготовка образцов для просвечивающей электронной микроскопии и атомной зондовой томографии
Созданные на базе проверенной временем платформы Helios 5 DualBeam, эти приборы включают в себя набор самых современных технологий, обеспечивающих высокую производительность,
---