Микроскоп FIB/SEM Helios 5

для контроля качествадля испытания материалов3D

Фрезерование сфокусированным ионным пучком и фемтосекундная лазерная абляция Лазерные системы Thermo Scientific Helios 5 PFIB сочетают в себе плазменное фрезерование сфокусированным ионным пучком с фемтосекундной лазерной абляцией и визуализацией SEM (сканирующая электронная микроскопия). Эта комбинация "TriBeam" позволяет получать изображения высокого разрешения и проводить анализ с возможностью абляции in situ, обеспечивая беспрецедентную скорость удаления материала для быстрого получения характеристик миллиметрового масштаба с нанометровым разрешением. Фемтосекундный лазер может разрезать многие материалы со скоростью, на порядки превышающей скорость обычного FIB. Большое поперечное сечение (сотни микрометров) может быть создано менее чем за пять минут. Поскольку лазер имеет другой механизм удаления (абляция в отличие от ионного распыления в FIB), он может легко обрабатывать сложные материалы, такие как непроводящие или чувствительные к ионному лучу образцы. Чрезвычайно короткая длительность фемтосекундных лазерных импульсов практически не приводит к появлению артефактов, таких как тепловой удар, микротрещины, плавление, или тех, которые характерны для традиционной механической полировки. В большинстве случаев отфрезерованные лазером поверхности достаточно чисты для прямой визуализации методом СЭМ и даже для таких поверхностно-чувствительных методов, как дифракция обратного рассеяния электронов (EBSD). Мы предлагаем широкий ассортимент продукции и передовые возможности автоматизации для таких приложений, как подготовка образцов для просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ), подготовка образцов для атомно-зондовой томографии (АЗТ) и трехмерный структурный анализ.