ТИПИЧНОЕ ПРИМЕНЕНИЕ
Проходная сканирующая электронная микроскопия, Сканирующая электронная микроскопия, Анализ полупроводников, Фрезерование и ремонт, Ионно-лучевое травление, Фокусированная ионно-лучевая литография
Высоковольтные источники питания Висман серии HSEM - это комплексные многовыходные высоковольтные источники питания, предназначенные для фокусировки ионных пучков. Типичные области применения включают просвечивающие и сканирующие электронные микроскопы, анализ полупроводников, фрезерование и ремонт головок оптических приводов, ионное травление, травление пучком и литографию сфокусированным ионным пучком. Модульный метод проектирования позволяет легко конфигурировать и собирать отдельные компоненты на большом шасси в общей стойке. Интерфейсные, логические и управляющие схемы выполнены по технологии поверхностного монтажа для минимизации стоимости и размеров. Встроенный источник питания ускорителя, источник питания накала, поглощение полярной мощности, подавление полярной мощности и питание линзы. Сверхнизкие пульсации на выходе, отличная скорость регулировки, стабильность, температурный дрейф и точность. Запатентованная технология высоковольтной подвески и цифрового управления. Высокоточные модули серии HSEM имеют конкурентоспособную цену и идеально подходят для OEM-приложений.
Источник питания ускорителя
Выходной ток: 300 мкА
Колебания: 120 мВ P-P, от 0,1 Гц до 1MHZ
Регулировка линии: изменение входного сигнала + / -10% для 100 мВ
Регулирование нагрузки: ± 0,01%, максимальное напряжение, полное изменение нагрузки
Стабильность: 1,5В/10 часов после прогрева в течение 2 часов
Температурный коэффициент: 25 PPM / °C
Питание накала
Колебания: 10 мА P-P, от 0,1 Гц до 1MHZ
Регулировка линии: + / -10% изменение до 5мА
Регулирование нагрузки: ± 0,1%, максимальное напряжение, изменение полной нагрузки
Стабильность: 5 мА/10 минут после прогрева в течение 2 часов
Температурный коэффициент: 200 PPM / °C
---