Источник электропитания DC/DC ECD

ISO

Источники питания для электростатических патронов Wisman серии ECD с программным управлением обладают рядом функций, позволяющих удовлетворить широкий спектр сложных задач. В приборах используется технология усилителя Висмана, которая, как было показано, повышает эффективность и производительность в три раза по сравнению с другими источниками питания. Сокращение ошибок, связанных с газом с обратной стороны, увеличение пропускной способности и устранение проблем, связанных с прилипанием/отскакиванием пластин; управление такими параметрами, как перегрузка по току, пороги присутствия пластин и их зажима, напряжение зажима, напряжение смещения, внутреннее или внешнее управление амплитудой/смещением; универсальность управления амплитудой/смещением и выходом при настройке; управление выходом с помощью входов/выходов задней панели, последовательных команд компьютера или органов управления передней панели; настройка пользовательских последовательностей и форм сигналов зажима и снятия зажима. Универсальные и надежные характеристики ECD компании Wisman позволяют использовать их в широком диапазоне уникальных инструментов и процессов без дополнительных затрат на каждый уникальный инструмент или процесс на предприятии. Особенности: Блокируемый интерфейс управления на передней панели. Каждый прибор поставляется с отслеживаемым сертификатом калибровки. Поддерживает технологии Coulombic и Johnsen-Rahbek ESC. Профили электростатического патрона загружаются и сохраняются на приборе, а также хранятся внутри прибора с помощью удобного программного интерфейса. Обнаружение пластин, включая отсутствие пластин, наличие пластин или состояние зажима пластин. Области применения: Обработка материалов с электростатическим приводом. Обработка полупроводниковых пластин. Немеханическое перемещение плоских листов или других обрабатываемых материалов, чувствительных к механическому перемещению.