Высоковольтные источники питания Wisman серии EMC - это комплексные многовыходные высоковольтные источники питания для сфокусированных ионных пучков. Типичные области применения включают просвечивающую и сканирующую электронную микроскопию, анализ полупроводников, фрезерование и ремонт головок оптических дисков, ионно-лучевое травление и литографию сфокусированными ионными лучами. Модульный подход к проектированию позволяет легко конфигурировать отдельные компоненты в общей стойке, монтируемой на большом шасси. Интерфейсные, логические и управляющие схемы изготавливаются по технологии поверхностного монтажа, что позволяет минимизировать стоимость и размеры. Встроенный источник ускоряющего питания, источник питания накала, источник питания поглотителя, источник питания подавителя и источник питания линзы. Низкие пульсации на выходе, превосходный коэффициент настройки, стабильность, температурный дрейф и точность. Уникальная технология высоковольтной подвески и цифрового управления компании Wisman. Высокоточные модули серии EMC имеют конкурентоспособную цену и идеально подходят для OEM-приложений.
ПРИМЕНЕНИЯ:
Полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп
Источник питания электронного пучка
Анализ, обработка и ремонт полупроводников
Ионно-лучевое травление
Литография с фокусированным ионным пучком
Технические параметры:
Ускоренный источник питания
Выходной ток:
100 мкА, 300 мкА
Дрожание:
100μA: 75 мВ P-P, от 0,1 Гц до1MHZ
300 мкА: 120 мВ P-P, от 0,1 Гц до1MHZ
Коэффициент входной регулировки:
Изменение входного сигнала +/-10% для 100 мВ
Коэффициент регулировки нагрузки:
± 0,01%, максимальное напряжение, изменение при полной нагрузке
Стабильность:
1.5В/10 часов после 2 часов предварительного нагрева
Температурный коэффициент:
25 PPM / °C
Питание филамента:
Колебания:
Коэффициент регулировки нагрузки:
± 0,1 %, максимальное напряжение, изменение при полной нагрузке
Коэффициент регулировки линии:
+/-10% изменение до 5 мА
---