Серия ECB - это высоковольтные усилители для электростатических присосок (E-Chuck, ESC). В дополнение к переключению полярности и принудительному заземлению, семейство также предлагает систему контроля пластин для удовлетворения потребностей в инспекции пластин. Кроме того, благодаря широкому диапазону напряжений серия поддерживает электростатические присоски Кулона и Джонсена-Рахбека.
Применение:
Перемещение материалов с электростатическим приводом
Обработка полупроводниковых пластин
Немеханическое перемещение пластин или других обрабатываемых материалов, чувствительных к механическому воздействию
---