Усилитель напряжения ECA

для коммутациивысокого напряжениядвухполюсный

Серия ECA - это высоковольтные усилители для электростатических патронов (E-Chuck, ESC). Помимо переключения полярности и принудительного заземления, эта серия также предлагает систему мониторинга для контроля пластин. Кроме того, благодаря широкому диапазону напряжений эта серия поддерживает электростатические патроны Кулона и Джонсена-Рахбека. Типичное применение: Обработка материалов с электростатическим приводом Обработка полупроводниковых пластин Немеханическое перемещение плоских листов или других обрабатываемых материалов, чувствительных к механическому воздействию Особенности и преимущества: Надежное определение состояния зажима/отпускания с помощью датчика пластин Быстрый отклик благодаря архитектуре усилителя (конструкция "без инверсии полярности реле" для высокой надежности и долговечности) "Двухканальное независимое управление (опция)" и "настройка напряжения центрального ответвителя (опция)" для различных операций зажима/отпускания Оснащен цифровым интерфейсом LAN, USB, RS-232C Встроенный низкочастотный радиочастотный фильтр (13,56 МГц) Опционально CT Смещение центрального ответвителя от 0 до ±[максимальное тарифное напряжение - уставка напряжения] Опционально ET Интерфейс Ethernet CAT [скоро будет] Дополнительный DS Двухканальное независимое управление Опционально AC Опционально L7 Выходной высоковольтный кабель 7 м x 3 (2 при выборе CT или DS)