Серия HEM высоковольтных источников питания Wisman - это комплексные многовыходные высоковольтные источники питания, предназначенные для фокусировки ионных пучков. Типичные области применения включают просвечивающую и сканирующую электронную микроскопию, анализ полупроводников, фрезерование и ремонт головок оптических приводов, ионное травление, травление пучком и литографию сфокусированным ионным пучком. Модульный метод проектирования позволяет легко конфигурировать и собирать отдельные компоненты на большом шасси в общей стойке. Интерфейсные, логические и управляющие схемы выполнены по технологии поверхностного монтажа для минимизации стоимости и размеров. Интеграция источников питания ускорения, питания накала, поглощения полярной мощности, подавления полярной мощности и питания линзы. Сверхнизкие пульсации на выходе, отличная скорость регулировки, стабильность, температурный дрейф и точность. Запатентованная технология высоковольтной подвески и цифрового управления. Высокоточные модули серии HEM имеют конкурентоспособную цену и идеально подходят для OEM-приложений.
ТИПИЧНОЕ ПРИМЕНЕНИЕ
Трансмиссионный сканирующий электронный микроскоп
Сканирующий электронный микроскоп
Анализ полупроводников
Обработка и ремонт
Травление ионным пучком
Литография сфокусированным ионным пучком
Колебания 2ppm
СПЕЦИФИКАЦИЯ
Мощность ускорителя
Колебания: 70 мВ P-P, от 0,1 Гц до 1MHZ
Регулировка линии: изменение входного сигнала + / -10% для 100 мВ
Регулирование нагрузки: ± 0,01%, максимальное напряжение, полное изменение нагрузки
Стабильность: после 2 часов прогрева, 1,5В/10 часов
Температурный коэффициент: 25 PPM / °C
Мощность экстрактора
Колебания: 30 мВ P-P, от 0,1 Гц до 1 МГц, менее 30 мкА
Регулирование линии: входное + / -10% изменение составляет 100мВ
Регулирование нагрузки: ± 0,01%, максимальное напряжение, полное изменение нагрузки
Стабильность: После предварительного нагрева в течение 2 часов, 500mV/10 часов
Температурный коэффициент: 25 PPM / °C
---