- Продукция
- Каталоги
Оптическая система выравнивания для полупроводниковых пластиндля измеренийвысокой точности
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
Характеристики
- Технология
- оптическая
- Место применения
- для измерений, для полупроводниковых пластин
- Другие характеристики
- высокой точности, автоматическая
Описание
Обзор
Одновременно измеряет смещение передних и задних рисунков после двусторонней экспозиции, а также смещение вафера после бондинга с помощью измерения Top-Bottom. Отклонение выравнивания после экспозиции поверхностного слоя измеряется режимом Top-Top. Доступны конфигурации кассета-к-кассете и полуавтоматические варианты.
Применение
Основные характеристики
Эксплуатация и интеграция
Одновременно измеряет смещение передних и задних рисунков после двусторонней экспозиции, а также смещение вафера после бондинга с помощью измерения Top-Bottom. Отклонение выравнивания после экспозиции поверхностного слоя измеряется режимом Top-Top. Доступны конфигурации кассета-к-кассете и полуавтоматические варианты.
Применение
- Производство полупроводниковых приборов
- Контроль процесса для CMOS-устройств
- Контроль точности фронт/бэк паттернов при производстве сенсоров
Основные характеристики
- Размер вафера: макс. φ12 дюймов
- Повторяемость измерений: 10X → 0,2 μm / 3σ (Top-Bottom); 20X → 0,02 μm / 3σ (Top-Bottom)
- Позиции измерения на экране: 25 позиций
- Емкость рецептов: 2 000
- Производительность: Top-Top 100 пластин/час (измерение 5 точек); Top-Bottom 100 пластин/час
- Доступные конфигурации: кассета-к-кассете, полуавтоматический тип
Эксплуатация и интеграция
- Поддержка до 2 000 измерительных рецептов и настраиваемых точек измерения
- Подходит для интеграции в inline производственные линии (кассета-к-кассете) и для автономной полуавтоматической работы
- Режимы измерения: Top-Top и Top-Bottom для проверки совмещения поверхности и склеенных слоев
Другие изделия SEIWAOPTICAL
equipment
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.