ПродуктПолностью автоматическая система экспозиции 웨йферов (mask aligner) для производства светодиодных (LED) чипов. Совместима с Micro LED и стандартными LED-вафлями; доступна в двух комбинированных вариантах для 2–4 дюймов и 4–6 дюймов.
ОбзорПредлагаются две версии полностью автоматической системы экспозиции для покрытия разных диапазонов размеров ваферов:
- Комбинированный тип 2–4 дюйма
- Комбинированный тип 4–6 дюйма
ПрименениеРазработана для процессов экспозиции Micro LED и LED в НИОКР и на производственных линиях.
Технические характеристики- Производительность такта (первая стадия): 150 шт. или более в час
- Производительность такта (вторая стадия): 130 шт. или более в час
- Точность выравнивания: ≤ 0,5 μm
Технические особенности- Автоматическая подача ваферов и выравнивание маски
- Поддержка комбинированных размеров ваферов: 2–4 дюйма и 4–6 дюйма
- Конструкция, ориентированная на точное выравнивание и измеренные показатели производительности