Спектрометр фотоэлектронных рентгеновских лучей

для лабораторийдля НИОКРMCP

Максимальное разрешение XPS изображения: 500 нм / 100 нм (Lab / Synchroton) Простая навигация по образцам с помощью технологии PEEM Маленькая точечная спектроскопия Исправленный аберрационный энергетический фильтр с поправкой на аберрацию Высокомощный монохроматический рентгеновский источник высокой мощности ARUPS с максимальным угловым восприятием Создано в сотрудничестве с компанией FOCUS GmbH NanoESCA предлагает карты химического состояния с непревзойденным боковым разрешением XPS (<500 нм, полученным в лабораторных условиях). Прибор позволяет анализировать наименьший размер структуры образца, предоставляя информацию о химическом состоянии, выходящую за рамки других методов с высоким боковым разрешением, таких как сканирование Оже и TOF SIMS Навигация образца в реальном времени обеспечивается с помощью метода PEEM, который работает в режиме вторичных электронов. Режим PEEM позволяет легко находить мелкие детали на большой площади образца и обеспечивает высокое разрешение (разрешение < 50 нм). Кроме того, режим PEEM предоставляет количественную информацию о местной функции работы и местных сборах проб. Возможности спектроскопии NanoESCA могут быть дополнены опцией ARUPS, которая позволяет анализировать k-пространство из m-зоны, например, мелкие зерна в поликристаллической поверхности с предельным угловым восприятием. За революционный дизайн компания NanoESCA получила награду R&D 100 за 2007 год.