Испаритель пучком ионов Triple EFM

для процесса

Зона испарения 8.5, 11 и 15 mm Расстояние деятельности 93 mm (10 mm) 3 независимых клетки/монитора потока нитей Отсутствие помехи во время составного роста Задн-нагрузка evaporants Продукт ФОКУСА Основано на идее проекта испарителей EFM 3, втройне EFM отличает 3 независимыми клетками для испарения широкия диапазона материалов от проводов, штаног или тиглей. Каждая клетка оборудована с отдельно нитью и поставкой HV для того чтобы предотвратить помеху (300 w каждое). 3 независимых монитора потока включают контролируемый стехиометрический рост смесей. Объединенная штарка multi-положения включает точный дозировать и одновременное или последовательное испарение («раскройте» положения: 1, 2, 3, 1+3, 2+3, 1+2+3). Зона низложения управлена выбором одной из 3 апертур. 3 цели испарения независимо установлены на 3 25 mm Z-переносят для выравнивания по отношению к нити. Эта характеристика позволяет испарению от штаног с аппаратурой multi-карманн. Материалы цели можно легко refilled от задего (CF 3x NW 16).