Испаритель пучком ионов EFM 6

для процесса

Зона испарения > 50 mm Тигель capacitiy до 10 cm3 Испарение от проводов, штаног или тиглей Интегрированная охлаженная штарка Водяное охлаждение для минимального подъема давления Продукт ФОКУСА Испаритель EFM 6 продлевает вид продукции EFM на большойа диапазон. С фланцом CF NW 63 (4.5 " OD) низкопробным и емкостью тигля до 10 cm3, владения EFM 6 около 10 времен как много материал как EFM 3. Уже на коротком расстоянии деятельности зона испарения большле чем 50 mm в диаметре, который делает EFM 6 идеально одетое для субстратов между 2 " и 4 ". Отличающ интегрированным потоком контролируйте и shutter, EFM 6 уникально инструмент в среднего размера ряде испарителя, не только соответствующем для роста sub-монослоев но также для толщиных скрепленных пусковых площадок etc. для циклов сверхсрочной службы, EFM 6 оборудовано с двойной нитью. Необходимая наивысшая мощность нагреть большие тигли поставлена EVC 1200.