Плазменные источники

... Линия MAXstream™ компании Advanced Energy - это следующее поколение дистанционных источников плазмы для очистки камер. MAXstream выпускается с расходом NF3 3, 6, 8, 10 и 12 SLPM для оптимизации цены и производительности. Обеспечивая длительный ...

... Высокоэффективная система Xstream® RPS диссоциирует большие объемы NF3 и быстро очищает камеры, повышая общую производительность инструмента. Его плазменная камера изготовлена из высокочистого алюминиевого сплава и имеет запатентованные ...

Источник плазмы встроен в вакуумную камеру и генерирует плазму высокой плотности. Источник плазмы можно использовать для плазменного осаждения (ионного покрытия), и можно улучшить свойства пленки для оптических тонких пленок, защитных ...

... RF Атомный источник для атомного кислорода и атомного азота Минимизация потерь мощности за счет оптимизированной конструкции Зона сброса производится из высококачественных материалов, что обеспечивает минимальное загрязнение балки Нулево-ионная ...

Генераторы TruPlasma DC серии 3000 (G2) предназначены для использования в рамках множества процессов ионно-плазменного распыления под постоянным током, в том числе в качестве замены технологическим системам электропитания, подающим пульсирующий ...

плазменные источники. «Hyperformance Plasma» предоставлена качеством от «HyDefinition®» с высокой точностью, с более высокой скоростью резки, с более длительным сроком службы расходных материалов и с использованием наполовину эксплуатационных ...