Самая большая система в нашей серии Q. Идеально подходит для нескольких пластин диаметром до 200 мм.
Размеры: -
Д: 760 мм Ш: 775 мм В: 775 мм
Вес: -
100 КГ
Объем: -
20 литров
Технологическая камера: -
кварцевое стекло, 240 мм Ø, B: 450 мм
Мощность микроволн: -
2,45 ГГц / 50 - 1200 Вт
Включено: -
1 газовый канал (система распределения газа внутри технологической камеры), возможно до 3 каналов
Держатель субстрата (опция): -
алюминий, возможен индивидуальный дизайн
Вакуумное соединение: -
DN 40 ISO-KF
Удаление воздуха: -
электромагнитный соленоидный клапан
Насосная система: -
до 40 м³/ч
Дверь камеры: -
вы можете выбрать между дверью навесного типа со смотровым отверстием и дверью выдвижного ящика с прикрепленными опорными стержнями
Размер пластин: -
до 200 мм, при количестве 50 пластин
---