Q означает камеры из кварцевого стекла.
Плазменное оборудование серии Q в основном используется в технологии полупроводников и в области анализа и медицинской техники.
Примеры применения: Очистка и сжигание органических образцов и лаков в микромеханике, а также для силициевых пластин в полупроводниковой промышленности.
---