Размеры: -
Д: 530 мм Ш: 600 мм В: 550 мм
Вес: -
80 КГ
Объем: -
18 литров
Технологическая камера: -
алюминий, L: 250 мм W: 290 мм H: 250 мм
Мощность микроволн: -
2,45 ГГц / 50 - 1200 Вт
Включено: -
1 газовый канал (система распределения газа внутри технологической камеры), возможно до 3 каналов
Держатель субстрата (опция): -
алюминий, возможен индивидуальный дизайн
Вакуумное соединение: -
DN 25 ISO-KF
Удаление воздуха: -
электромагнитный соленоидный клапан
Насосная система: -
15-35 м³/ч
Дверь камеры: -
распашная со смотровым отверстием
---