Простота в эксплуатации и загрузка. Наша серия Q обеспечивает быструю и надежную плазменную обработку.
Размеры: -
Д: 500 мм Ш: 550 мм В: 370 мм
Вес: -
40 КГ
Объем: -
4 литра
Технологическая камера: -
Кварцглас, 150 мм Ø, B: 244 мм
Мощность микроволн: -
2,45 ГГц / 50 - 1200 Вт
Включено: -
1 газовый канал (система распределения газа внутри технологической камеры), возможно до 3 каналов
Держатель субстрата (опция): -
алюминий, возможен индивидуальный дизайн
Вакуумное соединение: -
DN 25 ISO-KF
Удаление воздуха: -
электромагнитный соленоидный клапан
Насосная система: -
до 25 м³/ч
Дверь камеры: -
вы можете выбрать между дверью навесного типа со смотровым отверстием и дверью выдвижного ящика с прикрепленными опорными стержнями
Размер пластин: -
до 125 мм, при количестве 25 пластин
---