размер подложек или необходимая скорость процесса.
Размеры: -
Д: 1050 мм Ш: 800 мм В: 2020 мм
Вес: -
195 КГ
Объем: -
140/160/300 литров
Технологическая камера: -
алюминий, L: 400 мм W: 480 мм H: 520 мм
Мощность микроволн: -
2,45 ГГц / 50 - 1200 Вт
Включено: -
1 газовый канал (система распределения газа внутри технологической камеры), возможно до 3 каналов
Держатель субстрата (опция): -
алюминий, возможен индивидуальный дизайн
Вакуумное соединение: -
DN 63 ISO-KF
Удаление воздуха: -
электромагнитный соленоидный клапан
Насосная система: -
до 250 м³/ч (встроенный)
Дверь камеры: -
на выбор: навесная со смотровым отверстием, дверь с выдвижным ящиком или универсальная дверь
---