Абсолютно самая большая AL-система, которую мы можем предложить. Для самых больших подложек и объемов.
Размеры: -
Д: 1200 мм Ш: 900 мм В: 1800 мм
Вес: -
300 КГ
Объем: -
800 литров
Технологическая камера: -
Д: 900 Ш: 920 В: 900
Мощность микроволн: -
2,45 ГГц / 50 - 1200 Вт
Включено: -
1 газовый канал (система распределения газа внутри технологической камеры), возможно до 3 каналов
Держатель субстрата (опция): -
алюминий, возможен индивидуальный дизайн
Вакуумное соединение: -
DN 63 ISO-KF
Удаление воздуха: -
электромагнитный соленоидный клапан
Насосная система: -
до 250 м³/ч
Дверь камеры: -
на выбор: навесная со смотровым отверстием, дверь с выдвижным ящиком или универсальная дверь
---