Стационарный толщиномер ECV Pro™

для пленкибесконтактныйс автоматической калибровкой

Система ECV Pro была сконструирована с нуля, чтобы исключить все зависящие от оператора колебания данных. Обзор продукции Система ECV Pro является промышленным стандартом для измерения профилей концентрации активных носителей в полупроводниковых слоях. Новая цифровая электроника системы устраняет дрейф и значительно улучшает соотношение сигнал/шум. Уникальная конструкция системы ECV Pro устраняет все зависящие от оператора колебания данных. Представляем первую встроенную камеру ECVision, позволяющую пользователю получать изображение полупроводниковых/электролитных интерфейсов. Она также дает новое представление о снятии пленки или выявлении дефектов во время травления. Системное программное обеспечение ECV Pro построено на основе отраслевого стандарта SEMI E-95. Данное программное обеспечение поддерживает автоматическое профилирование и запрограммировано на создание графиков управления технологическим процессом.