Термально-массовый регулятор расхода P2 MFC

для коррозийного газацифровой

PFC-60 ΠMFC, изготовленное аппаратурами MKS, цифровой термальный массовый регулятор потока специально используемый для коррозионных газов. Прибор состоит из улучшения в технологии оперируя понятиями функциональности и представления. Они помогают потребителям в полупроводнике и применениях особой чистоты тонкопленочных. Регулирование потока прибора нечувствительно к помехам в верхней части потока и идущим дальше по потоку. Улучшено в реальном масштабе времени управление подачи газа и своей точности. Они имеют более лучшую камеру сопрягать чем MFCs основанные PID цифровые. Датчик давления и дисплей СИД совмещены для того чтобы уменьшать компоненты необходимы в ручке газа. Установка и troubleshooting MFC in-situ должны к основанному паутиной интерфейсу браузера.