Термально-массовый регулятор расхода IE1000A

для газа

Эластомер-загерметизирован регулятор потока IE1000A массовый, multi-газ/многошкальный MFC конструированный для пользы в жестковатых промышленных средах где сопротивление к входу жидкости и пыли необходимо. IE1000A можно заколебаться от 501 к slm 1000 (эквиваленту N2). Этот обширный ряд подачи позволен уникально конструкцией модулирующей лампы, которая отвечает быстро к setpoint изменениям пока поддерживающ закрытые нормы утечки електропроводимостьи которые наилучшим образом под другими высокими регуляторами потока массы подачи. Устанавливать времена 2 до 3 секунд и setpoint точности под 1% из setpoint превышает типичные высокие регуляторы потока массы подачи. Точное управление поддержано вниз до 2% из установленного IE1000A полномасштабного ряда подачи. Multi-газ/многошкальная возможность и плотные спецификации представления для точности, ряда управления, и переходной реакции уменьшают требования к инвентаря регулятора потока.