Регулятор потока IE50A массовый общее назначение, эластомер-загерметизированный MFC с возможностью регулирования потока от 5 sccm к slm 50 полномасштабному, эквивалент N2. Он включает самую последнюю в цифровой электронике регулирования потока и доказанном, запатентованном термальном датчике и механически конструкции.
IE50A digitally-controlled MFC предложенный с аналогом (0 до 5 VDC или 4-20 mA) или разнообразие цифровой (RS485, Profibus® и DeviceNet™) i/o. Электроника цифрового управления использует самую последнюю в алгоритмах управления MKS для быстрой и repeatable реакции к setpoint повсеместно в ряд управления. Типичные времена на ответ на заказе 500 миллисекунд. Цифровая (включенная) тарировка производит 1% из setpoint точности на газе тарировки.
---