Регулятор потока аппаратур 1640 MKS Давлени-основанный массовый металл-загерметизированная аппаратура с стандартом след ноги 3 дюймов, конструированный для того чтобы измерить и контролировать подачи газа в низк-линию надавите применения где термальные массовые регуляторы потока ограничены в их способности точно измерить подачу. 1640 использует принцип звуковой подачи через отверстие, соотвествованного условия когда давление в верхней части потока управления хотя бы дважды идущее дальше по потоку давление. В таких режимах, массовое распространение пропорционально к давлению управления.
В Давлени-Основанном 1640A регулятор Массы-Flo, манометр емкости Baratron® контролирует давление вверх по течению критического отверстия. Это давление пропорционально к подаче. Измеренное давление сравнено в электронике управления к точке отсчета подачи. Сигнал управления после этого произведен управлять пропорциональной модулирующей лампой к електропроводимостьи как требовалось для того чтобы принести фактическое давление управления (подачу) в согласование с точкой отсчета подачи.
---