Координатный стол поступательного перемещения MS30

пьезоэлектрическийминиатюрный

для работы в замкнутом контуре (разрешение до 50 нм) многоосевые комбинации без переходных пластин Миниатюрный переводной столик с пьезоэлектрическим инерционным приводом с измерительной системой. Технические данные Ширина - 52 мм Высота - 12,5 мм Глубина - 30 мм Скорость - 1,2 мм/с Макс. нагрузка Момент (Mx) - 5 Нсм Момент (My) - 5 Нсм Момент (Mz) - 5 Нсм Усилие блокировки (Fx) - 4,5 Н Опорное усилие (Fy, Fz) - 30 Н Точность наведения Угол рысканья - 170 угловых секунд Угол тангажа - 160 угловых секунд Вертикальное отклонение - 3 мкм Боковое отклонение - 3 мкм Информация об измерениях Контрольная метка - средняя Разрешение - от 1 мкм до 50 нм Напряжение питания - 5 В Потребляемая мощность - 150 мА