для условий сверхвысокого вакуума до 10^(-9) мбар
сверхкомпактный дизайн
площадь основания 15 x 15 мм
Сверхмалые миниатюрные переводные каскады с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Версия MS15 для сверхвысокого вакуума.
Технические данные
Ширина - 15 мм
Высота - 7 мм
Глубина - 15 мм
Макс. нагрузка
Момент (Mx) - 4 Нсм
Момент (My) - 4 Нсм
Момент (Mz) - 4 Нсм
Блокирующее усилие (Fx) - 3 Н
Опорное усилие (Fy, Fz) - 20 Н
Точность наведения
Угол рысканья - 20 угловых секунд
Угол тангажа - 60 угловых секунд
Вертикальное отклонение - 1 мкм
Боковое отклонение - 2 мкм
---