компактная конструкция для вакуумных систем
комбинация xy без переходной пластины
Сверхмалые миниатюрные трансляционные каскады с пьезоэлектрическим инерционным приводом для вакуумных применений.
Технические данные
Ширина - 22 мм
Высота - 7 мм
Глубина - 15 мм
Макс. нагрузка
Момент (Mx) - 4,5 Нсм
Момент (My) - 1,5 Нсм
Момент (Mz) - 3,2 Нсм
Усилие блокировки (Fx) - 3 Н
Опорное усилие (Fy, Fz) - 20 Н
Точность наведения
Угол рысканья - 20 угловых секунд
Угол тангажа - 60 угловых секунд
Вертикальное отклонение - 1 мкм
Боковое отклонение - 2 мкм
---