для условий высокого вакуума до 10^(-6) мбар
сверхкомпактная конструкция
xyz - возможность комбинирования
Сверхмалые миниатюрные переводные каскады с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Вакуумная версия MS15.
Технические данные
Ширина - 15 мм
Высота - 7 мм
Глубина - 15 мм
Скорость - 1,5 мм/с
Макс. нагрузка
Момент (Mx) - 4 Нсм
Момент (My) - 4 Нсм
Момент (Mz) - 4 Нсм
Блокирующее усилие (Fx) - 3 Н
Опорное усилие (Fy, Fz) - 20 Н
Точность наведения
Угол рысканья - 20 угловых секунд
Угол тангажа - 60 угловых секунд
Вертикальное отклонение - 1 мкм
Боковое отклонение - 2 мкм
---