Система контроля для обнаружения дефектов поверхностей Teron™ 6xx series
для производства

система контроля для обнаружения дефектов поверхностей
система контроля для обнаружения дефектов поверхностей
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Тип
для обнаружения дефектов поверхностей
Применение
для производства

Описание

Системы контроля дефектов ретикулы для масочного цеха Линейка приборов для контроля сетки Teron™ 640e способствует разработке и квалификации передовых EUV и 193-нм шаблонированных сеток в масочных цехах путем обнаружения критических дефектов сетки и частиц. Используя режимы "от матрицы к базе данных" или "от матрицы к матрице", эти системы контроля разработаны для работы с широким диапазоном материалов стека и сложными структурами OPC, характерными для новейших 7-нм и 5-нм узлов устройств. Teron 640e включает в себя несколько усовершенствований оптики и обработки изображений, которые поддерживают спецификации захвата дефектов и производительность, необходимые для ускорения цикла производства прицелов. Линейка продуктов Teron 640e также удовлетворяет строгим требованиям к чистоте, необходимым для производства EUV-масок. Области применения Квалификация сетки, контроль процесса изготовления сетки, мониторинг оборудования для изготовления сетки, проверка качества исходящей сетки Сопутствующие продукты Teron 640: промышленный производственный стандарт для контроля оптических и EUV прицелов на узле 10 нм и далее. Teron 630: Промышленный производственный стандарт для контроля оптических и EUV-сеток на 1Xnm / 2XHP. Teron 610: промышленный стандарт для контроля оптических сеток 2Xnm / 3XHP. TeraScan™ 500XR: промышленный стандарт для контроля оптических сеток 3Xnm / 4XHP.

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги KLA - TENCOR
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.