Метрологические системы для имплантатов
Метрологическая система для ионной имплантации/отжига Therma-Probe® 680XP обеспечивает мониторинг дозы на линии для узлов проектирования 2Xnm/1Xnm. Система Trma-Probe 680XP позволяет получать важную информацию о дозе и профиле ионной имплантации, равномерности имплантации и отжига, а также о повреждениях в конце диапазона. Кроме того, карты микрооднородности системы Therma-Probe 680XP с высоким разрешением обеспечивают возможность снятия отпечатков пальцев для разработки процессов имплантации и отжига.
Области применения
Монитор процесса, монитор инструмента
---