Оптическая измерительная система Therma-Probe® 680XP

Оптическая измерительная система - Therma-Probe® 680XP - KLA Corporation
Оптическая измерительная система - Therma-Probe® 680XP - KLA Corporation
Оптическая измерительная система - Therma-Probe® 680XP - KLA Corporation - изображение - 2
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Технология
оптическая

Описание

Метрологические системы для имплантатов Метрологическая система для ионной имплантации/отжига Therma-Probe® 680XP обеспечивает мониторинг дозы на линии для узлов проектирования 2Xnm/1Xnm. Система Trma-Probe 680XP позволяет получать важную информацию о дозе и профиле ионной имплантации, равномерности имплантации и отжига, а также о повреждениях в конце диапазона. Кроме того, карты микрооднородности системы Therma-Probe 680XP с высоким разрешением обеспечивают возможность снятия отпечатков пальцев для разработки процессов имплантации и отжига. Области применения Монитор процесса, монитор инструмента

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги KLA Corporation
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.