Оптический прибор для контроля Archer™ series

для полупроводниковой пластины с рисунком структурыдля электронной промышленностидефектов

Системы метрологии наложения Метрологическая система для измерения наложения Archer™ 750 обеспечивает точную обратную связь с погрешностью наложения на изделии для быстрого перехода на новые технологии и стабильного производства передовых устройств памяти и логики. Возможность перестройки длины волны с разрешением 10 нм обеспечивает точные и надежные измерения погрешности наложения при наличии вариаций производственного процесса. Благодаря уровню производительности, обычно характерному только для систем на основе скаттерометрии, система наложения изображений Archer 750 поддерживает увеличенную выборку для коррекции сканера высокого порядка и высокую пропускную способность для поточного контроля. Усовершенствованные алгоритмы и новая конструкция мишени наложения rAIM® обеспечивают улучшенную корреляцию между ошибками наложения мишени и устройства, помогая литографам точно отслеживать эффективность наложения устройства. Области применения Контроль наложения на продукцию, поточный контроль, квалификация сканера, контроль шаблонов