Измерительная система критического размера SpectraShape™ series

оптическаядля интегральной схемыдля электроники

Оптические системы измерения критических размеров (CD) и формы Система измерения размеров SpectraShape™ 10K используется для полного определения и контроля критических размеров (КР) и трехмерных форм finFET, вертикально уложенных NAND и других сложных элементов интегральных схем на узлах проектирования 1Xnm и далее. Используя разнообразные оптические технологии и запатентованные алгоритмы, оптическая система измерения КР и формы SpectraShape 10K обеспечивает обратную связь по критическим параметрам устройства (критический размер, углубление металлического затвора, углубление с высоким k, угол боковой стенки, высота резиста, высота жесткой маски, шаг) для широкого спектра применений на заводе ИС, от ранних слоев передовых транзисторов до последних слоев межсоединений. Области применения Монитор поточного процесса, контроль шаблонирования, расширение технологического окна, контроль технологического окна, усовершенствованный контроль процесса (APC), инженерный анализ Сопутствующие продукты AcuShape®: Усовершенствованное программное обеспечение для моделирования, которое интерпретирует сигналы от систем SpectraShape, помогая ускорить процесс создания надежных, пригодных для использования 3D моделей формы. SpectraShape 10K: Оптические системы измерения компакт-дисков и формы, позволяющие измерять сложные элементы для логических устройств и ИС с улучшенной памятью с нормами 1Xnm. SpectraShape 9000: оптические CD- и формоизмерительные системы, позволяющие измерять сложные характеристики для ИС на 20-нм и ниже проектных узлах.