Измерительная система критического размера SpectraShape™

пространственнаяоптическаядля интегральной схемы

Оптические системы измерения критических размеров (CD) и формы Система измерения размеров SpectraShape™ 12k используется для полного определения характеристик и контроля критических размеров (CD) и трехмерных форм нанолистов, finFET, DRAM и вертикально уложенных структур NAND, а также других сложных элементов интегральных схем на передовых узлах проектирования. Используя значительные достижения в области оптических технологий и запатентованные алгоритмы, SpectraShape 12k определяет тонкие вариации критических параметров устройства (критический размер, углубление в затворе с высоким k и металлом, угол боковой стенки, высота резиста, высота жесткой маски, шаг, наложение на устройство и т. д.) на различных технологических уровнях. Благодаря улучшенной ступени и новым измерительным модулям, обеспечивающим высокую пропускную способность, SpectraShape 12k позволяет быстро выявлять проблемы технологического процесса в режиме реального времени, помогая заводам ускорить темпы выхода на рынок и добиться стабильного производства. Области применения Монитор поточного процесса, контроль шаблонов, расширение технологического окна, контроль технологического окна, усовершенствованный контроль процесса (APC), инженерный анализ Сопутствующие продукты AcuShape®: Усовершенствованное программное обеспечение для моделирования, которое интерпретирует сигналы систем SpectraShape, помогая ускорить процесс создания надежных и пригодных для использования 3D-моделей форм. SpectraShape 10K: Оптические системы для измерения компакт-дисков и форм, позволяющие измерять сложные элементы для логики 1Xnm и передовых ИС с памятью. SpectraShape 9000: оптические CD- и формоизмерительные системы, позволяющие измерять сложные элементы для ИС на 20-нм и ниже проектных узлах.