Система распределения для газов JW-200-VMB

сжатого воздухадля использования в промышленности

Коллекторный клапанный блок и газовый шкаф/панель (VMB/VMP)

Общее описание
VMB (коллекторные клапанные блоки) и VMP (коллекторные панели) — модульные узлы для контролируемого распределения высокочистых и специальных газов в промышленной среде. Они распределяют один источник газа на несколько выходов (обычно 4–8) и разработаны для безопасной эксплуатации и обслуживания при работе с опасными, реактивными или сверхвысокочистыми газами на заводах по производству полупроводников, в лабораториях и системах поставки специальных газов.

Особенности и области применения

• Конфигурации: закрытый шкаф для опасных/реактивных газов или панель для инертных газов.
• Варианты управления: от ручного до полной автоматизации с интеграцией PLC.
• Системы безопасности: вентиляция/продувка, генерация вакуума, детекторы UV/IR, датчики токсичных газов, аварийные запорные клапаны, взрывозащищённые шкафы и самозапирающиеся двери.
• Конструкция для высокой чистоты: орбитальная сварка коллекторов, продуваемые корпуса и материалы, совместимые с газами класса полупроводников.
• Специализированные шкафы: TMA‑шкафы для пирофорных/сильно реактивных газов с системой пожаротушения, обнаружением утечек и отдельной вытяжкой.
• Шкафы для очистки отработанных газов (scrubber): химическая очистка и фильтрация для нейтрализации опасных побочных продуктов и соблюдения экологических норм.
• Типичные области применения: фабрики полупроводников, оптовая поставка специальных газов, атомарно‑слойное осаждение (ALD), исследовательские лаборатории.

Технические данные
Модель: JW-200-VMB, JW-100-VMB
Спецификация: 4S / 6S / 8S
Размер специального шкафа: W870×D340×H1680
Питание шкафа управления: 220VAC, 50Hz, 500W
Питание нагрева: 220VAC, 50Hz, 1–6kW
Продувка: PN2, 1/4” MVCJ
Вакуум: GN2, 1/4” MVCJ
ВЕНТ сливной патрубок: 1/2” MVCJ
Пневматический источник воздуха: CDA driver, 1/4" SWG
Вентиляция шкафа: OD 100mm, 70 m3/hr
Стандартное оборудование: взрывозащищённый шкаф, взрывозащищённая самоблокирующаяся дверь, взрывозащищённое смотровое окно, дистанционное отключение
Панель управления: 7" цветной сенсорный экран

Опции

• UV/IR датчики
• Подогрев панели
• Модуль Ethernet‑связи
• Выключатель высокой температуры
• Детектор дыма

Поддерживаемые газы (примеры)
SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl (выбор зависит от конфигурации шкафа и контактных материалов)

Технические характеристики

• Бренд: Jewellok
• Модели: JW-200-VMB, JW-100-VMB
• Количество выходов / sticks: 4S / 6S / 8S
• Размер специального шкафа: W870×D340×H1680
• Питание шкафа управления: 220VAC, 50Hz, 500W
• Питание нагрева: 220VAC, 50Hz, 1–6kW
• Система продувки: PN2, 1/4” MVCJ
• Вакуумная система: GN2, 1/4” MVCJ
• ВЕНТ сливной патрубок: 1/2” MVCJ
• Пневматический источник воздуха: CDA driver, 1/4" SWG
• Вентиляция шкафа: OD 100mm, 70 m3/hr
• Стандартное оборудование: взрывозащищённый шкаф, взрывозащищённая самоблокирующаяся дверь, взрывозащищённое смотровое окно, дистанционное отключение
• Панель управления: 7" цветной сенсорный экран
• Доступные опции: обнаружение UV/IR, подогрев панели, модуль Ethernet, высокотемпературный выключатель, детектор дыма
• Типичные применения: распределение высокочистых газов, TMA‑шкафы для реактивных/пирофорных газов, BSGS‑системы высокого расхода и обработка отработанных газов