Система хранения газа высокое давление JW-300-GR

Шкаф хранения и редуцирования давления для высокочистых газов JW-300-GR для полупроводниковой промышленности
В производстве полупроводников безопасное хранение и точная подача высокочистых, высоконапорных специальных газов критичны для стабильности процессов и безопасности. Система JW-300-GR сочетает шкафы для хранения баллонов с шкафом редуцирования давления, соответствуя требованиям чистых помещений и промышленным стандартам безопасности.

Шкафы для хранения газовых баллонов
Предназначены для специальных газов, таких как азот, аргон и водород; обеспечивают надежное размещение баллонов, защищая их от внешних рисков и ограничивая несанкционированный доступ. Выполнены из коррозионно-устойчивых материалов, оснащены принудительной вентиляцией для предотвращения накопления газа, огнестойкими элементами и запирающимися механизмами. Внутренняя организация и четкая маркировка обеспечивают быструю идентификацию и замену в условиях интенсивного производства.

Шкафы редуцирования давления
Шкаф редуцирования содержит регуляторы, запорные клапаны и приборы мониторинга для подачи газа под контролируемым давлением к оборудованию. Встроенные датчики и логика сигнализации обнаруживают утечки или отклонения давления и инициируют меры безопасности. Компоненты и уплотнения выбираются с учетом совместимости с чистыми помещениями, чтобы избежать загрязнения линий высокочистого газа. Опции автоматического управления и удаленного мониторинга сокращают простои и повышают прослеживаемость процессов.

Обзор
Вместе шкафы хранения и редуцирования обеспечивают безопасное размещение и точную подачу специальных газов, поддерживая требования точности и нормативного соответствия в производстве полупроводников.

Технические данные
Model: JW-300-GR
Specification: Single bottle/double bottle
Special gas cabinet size: Double bottle: W800*D520*H1957; Single bottle: W500*D520*H1957
Control cabinet power supply: Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W; Heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge: PN2,1/4” MVCJ
High pressure holding: HPN2,1/4” MVCJ
Vacuum: GN2.1/4” MVCJ
VENT drain pipe: 1/2” MVCJ
Pneumatic air source: CDA driver, 1/4″ SWG
Operation interface: 7″ color touch screen/buttons

Опции

• Весовая система
• Подогрев панели
• Датчик избыточного расхода
• Модуль связи Ethernet
• CGA Guarder

Характеристики / технические спецификации

• Model: JW-300-GR
• Specification: Single bottle/double bottle
• Special gas cabinet size: Double bottle: W800*D520*H1957; Single bottle: W500*D520*H1957
• Control cabinet power supply: 220VAC, 50HZ, 500W; Heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
• Purge: PN2, 1/4” MVCJ
• High pressure holding: HPN2, 1/4” MVCJ
• Vacuum: GN2, 1/4” MVCJ
• VENT drain pipe: 1/2” MVCJ
• Pneumatic air source: CDA driver, 1/4″ SWG
• Operation interface: 7″ color touch screen / buttons
• Optional features: Весовая система; Подогрев панели; Датчик избыточного расхода; Модуль связи Ethernet; CGA Guarder