Система распределения для растворителя JW series

для водыдля резервуарадля бестарной химической продукции

Обзор
В среде производства полупроводников системы подачи жидких химикатов UHP (Ultra-High Purity) обеспечивают контролируемую передачу кислот, щелочей и растворителей между емкостями для хранения и точками использования с минимальным риском контаминации. Системы снижают ручную обработку и поддерживают целостность процесса для высокого выхода продукции.

Система транспортировки химикатов в большом объёме
Инфраструктура для работы с большими объёмами транспортирует химикаты из внешних резервуаров или барабанных складов. Конструкционные материалы обычно включают электрополированную нержавеющую сталь 316L или трубопроводы из PFA высокого класса. Методы перекачки включают автоматизированную передачу под давлением или магнитно-сцепленные насосы для ровного, безимпульсного потока, что снижает риск кристаллизации и генерации частиц.

UHP система подачи жидких химикатов (финальная подача)
Система финальной подачи ориентирована на распределение до точки использования, включает продвинутую фильтрацию, бесконтактные датчики уровня и мониторинг расхода в реальном времени. Меры безопасности и чистоты: вторичная оболочка, автоматическое обнаружение утечек и продувка азотом для предотвращения окисления и защиты персонала при обеспечении высокочистого снабжения производственного оборудования.

Технические данные
Модель: JW-200L-CDM, JW-1000L-CDM
Размер специального газового шкафа: W2200*D1500*H2000 (двойные бочки) / W2990*D2100*H2000 (двойные бочки)
Питание шкафа управления: 220VAC, 50Hz, 0.5–3KW, защита от утечек
Продувка: PN2, SS316 1/2" SWG
Ультрачистая вода: UPW, JIS 16A подключение
Сжатый воздух: CDA, SS316 1/2" SWG
Вывод отходов: Слив, PP DN20 Fusion Socket / Слив, PP DN25 Fusion Socket

Стандартные / опциональные элементы

• Панель аварийного ручного управления (опция)
• Высокоэффективный фильтр
• Датчик двери (опция)

Применение

• Полупроводники
• Фотовольтаика
• Солнечная энергетика
• ЖК-панели
• Оптоволокно
• Другие высокотехнологичные производственные области

Обрабатываемые специальные химикаты

• HF - Фтористоводородная кислота
• HCL - Соляная кислота
• H2O2 - Перекись водорода
• KOH - Гидроксид калия
• HNO3 - Азотная кислота
• NH4OH - Аммиачная вода
• H2SO4 - Серная кислота

Функции

• Фильтрация жидких химикатов
• Отбор проб жидких химикатов
• Циркуляция жидких химикатов
• Поставка/подача жидких химикатов

Характеристики / Технические спецификации

• Модель: JW-200L-CDM; JW-1000L-CDM
• Размер специального газового шкафа: W2200 × D1500 × H2000 (двойные бочки) или W2990 × D2100 × H2000 (двойные бочки)
• Питание шкафа управления: 220VAC, 50Hz, 0.5–3KW с защитой от утечек
• Продувка: PN2 с SS316 1/2" SWG
• Подключение ультрачистой воды: UPW, JIS 16A
• Сжатый воздух: CDA с SS316 1/2" SWG
• Варианты вывода отходов: PP DN20 Fusion Socket или PP DN25 Fusion Socket
• Стандартное оборудование: корпус из PP + прозрачное смотровое окно из ПВХ, внутренняя трубопроводная заслонка из PFA, продувка азотом, отбор проб, полностью автоматическая подача кислот, автоматическая смена барабанов, резервирование насосов (два в работе + один резервный), сенсорный экран состояния арматуры и трубопроводов, автоматическое отключение подачи, ранние предупреждения и аварийные сигналы, самопроверки, мультиязычная поддержка, множественные входы сигналов, сканер кодов, высокоэффективный фильтр, опциональный дверной датчик
• Применения: Полупроводники, Фотовольтаика, Солнечная энергетика, ЖК-панели, Оптоволокно и другие высокотехнологичные производственные области
• Обрабатываемые химикаты: HF, HCL, H2O2, KOH, HNO3, NH4OH, H2SO4
• Основные функции: фильтрация, отбор проб, циркуляция, подача жидких химикатов