Система дозирования JW-300-LDS CDS

Обзор
Модуль подачи жидких химикатов (CDM) JW-300-LDS CDS сосредоточен на ультравысокочистых (UHP) диафрагменных клапанах, предназначенных для работы с агрессивными травильными растворами и абразивными суспензиями в производстве полупроводников. Правильный выбор клапанов, их мониторинг и техническое обслуживание необходимы для предотвращения контаминации, выделения частиц и незапланированных простоев.

Рекомендации по обслуживанию и конструкции
Выбирайте UHP диафрагменные клапаны с метал‑к‑металлу уплотнением, которые изолируют рабочую среду от привода, исключая мертвые зоны. Внедрите предиктивный мониторинг через PLC CDM: отслеживайте количество циклов клапанов и перепады давления на коллекторе, чтобы выявить разрушение диафрагмы до возникновения утечки. Установите протоколы промывки деминерализованной водой для предотвращения химической кристаллизации на седлах и планируйте замену изнашиваемых компонентов в запланированные окна простоя для поддержания чистоты на уровне частей на триллион (ppt) и продления срока службы модуля.

Технические данные
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen

Опции

• Детектор пламени UV/IR
• Подогрев баллонов
• Подогрев панели
• Модуль Ethernet‑связи
• Весы
• Датчик превышения расхода
• Датчик дыма

Применение

• Полупроводники
• Фотовольтаика
• Солнечная энергетика
• Жидкокристаллические панели
• Оптоволокно
• Другие производственные области

Обрабатываемые специальные химикаты

• HF - фтористоводородная кислота
• HCL - соляная кислота
• H2O2 - перекись водорода
• KOH - гидроксид калия
• HNO3 - азотная кислота
• NH4OH - гидроксид аммония
• H2SO4 - серная кислота

Функции

• Фильтрация жидких химикатов
• Отбор проб жидких химикатов
• Циркуляция жидких химикатов
• Поставка/доставка жидких химикатов

Замечания по конструкции и характеристикам
Рабочие участки, контактирующие с жидкостью, выполнены из электро‑полированной нержавеющей стали 316L с поверхностной отделкой 5Ra для минимизации выделения частиц и обеспечения химической инертности. Фирменные UHP диафрагменные клапаны имеют метал‑к‑металлу уплотнения и PLC‑управляемую автоматизацию для управления рецептами и предиктивного обслуживания. Многоуровневые протоколы безопасности включают вторичную защиту, азотное покрытие и автоматическое обнаружение утечек для защиты персонала и выхода продукции.

Технические спецификации

• Model: JW-300-LDS CDS
• Размер шкафа: W1900 × D800 × H2100
• Питающая мощность управления: 220VAC, 50Hz, 500W; мощность нагрева: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
• Промывочный газ: PN2, 1/4" MVCJ
• Поддержание высокого давления: GN2, 1/4" MVCJ
• Вакуумный разъем: 1/2" MVCJ
• Сливной трубопровод VENT: CDA driver, 1/4" SWG
• Производительность пневм. источника воздуха: OD 150mm; силан 810 m³/hr; прочие 204 m³/hr
• Производительность вентиляции шкафа: OD 150mm; силан 810 m³/hr; прочие 204 m³/hr
• Интерфейс оператора: 10" цветной сенсорный экран
• Стандартные функции безопасности/оборудования: автоматическое переключение, автоматическая продувка, взрывозащищенный шкаф и дверь, самоблокирующаяся взрывозащищенная дверь, смотровое окно из взрывозащищенного стекла, сигнализация утечки, дистанционное отключение, сигнализация отрицательного давления
• Материалы и отделка: электро‑полированная нержавеющая сталь 316L, поверхность 5Ra
• Ключевые функции: фильтрация, отбор проб, циркуляция, подача жидких специальных химикатов