Система дозирования JW-300-LDS

Индивидуальная инженерия системы подачи химикатов (CDS) для распределения опасных травителей и летучих органических растворителей
При работе с опасными травителями и летучими органическими растворителями безопасность и совместимость материалов являются бескомпромиссными основами проектирования объектов. Индивидуальная система подачи химикатов (CDS) разработана для управления этими высокорискованными жидкостями, обеспечивая их транспорт от резервуарного хранения до производственного оборудования без ущерба для безопасности персонала и окружающей среды.

Материалы и контроль загрязнений
Для агрессивных кислот, таких как фтороводородная (HF), при индивидуальном проектировании часто применяют трубы с PFA-внутренним покрытием или высококачественную нержавеющую сталь 316L с электро-полировкой, чтобы предотвратить коррозию и выщелачивание ионов металлов. Системы проектируются под требования ультравысокой чистоты (parts-per-trillion) с использованием 316L электрополированной стали и поверхностью 5Ra для минимизации выделения частиц и обеспечения химической инертности на всём пути жидкости.

Безопасность, автоматизация и локализация
Интеллект индивидуального Jewellok CDS заключается в его автоматизированной системе безопасности. Каждая система включает вторичную локализацию (труба-в-трубе или шкаф-в-шкафу) в сочетании с высокочувствительным обнаружением утечек. Управляемая централизованным PLC (Programmable Logic Controller), система может немедленно автоматически закрыть пневмоклапаны при обнаружении утечки или аномалии давления. Дополнительные меры включают азотное бланкетирование для летучих растворителей, автоматическое обнаружение утечек, взрывозащищённые корпуса и многоуровневые блокировки для защиты персонала и выхода продукции.

Технические данные

• Модель — JW-300-LDS
• Размер специального газового шкафа — W1900*D800*H2100
• Электропитание шкафа управления — Управление: 220VAC, 50Hz, 500W; Нагрев: 220VAC, 50Hz, 1-6KW
• Промывка — PN2, 1/4" MVCJ
• Поддержание высокого давления — GN2 1/4" MVCJ
• Вакуум — 1/2" MVCJ
• VENT дренажная труба — CDA driver, 1/4" SWG
• Пневмоисточник воздуха — OD 150MM, silane 810 m3/hr; другие 204 m3/hr
• Вентиляция шкафа — OD 150MM, silane 810 m3/hr; другие 204 m3/hr
• Стандартное оборудование — автоматическое переключение, автоматическая промывка, взрывозащищённый дизайн шкафа, сигнализация утечки, дистанционное отключение, сигнализация отрицательного давления
• Интерфейс управления — 10" цветной сенсорный экран

Опции

• UV/IR детектор пламени
• Подогрев баллонов
• Подогрев панели
• Модуль связи Ethernet
• Весовая платформа
• Датчик избыточного потока (Excess Flow Switch)
• Датчик дыма

Применение

• Полупроводники
• Фотогальваника
• Солнечная энергетика
• Жидкокристаллические панели
• Оптоволокно
• Другие производственные области

Обрабатываемые химикаты

• HF - фтороводородная кислота
• HCL - хлороводородная кислотa
• H2O2 - перекись водорода
• KOH - гидроксид калия
• HNO3 - азотная кислота
• NH4OH - гидроксид аммония
• H2SO4 - серная кислота

Функции

• Фильтрация жидких химикатов
• Отбор проб жидких химикатов
• Циркуляция жидких химикатов
• Подача/распределение жидких химикатов

Дополнительные сведения о продукте
Продукты включают Chemical Delivery Modules (CDM) для смешивания и разбавления на месте и крупномасштабные CDS-решения для распределения. Системы интегрируют UHP мембранные клапаны с метал-to-metal уплотнениями и PLC-управляемую автоматизацию для точного управления рецептами и предиктивного обслуживания, нацеленные на сокращение простоев и достижение >99.9% времени безотказной работы.

Технические характеристики / спецификации

• Модель: JW-300-LDS
• Размер газового шкафа: W1900*D800*H2100
• Питание управления: 220VAC, 50Hz, 500W; нагрев: 220VAC, 50Hz, 1-6KW
• Промывка: PN2, 1/4" MVCJ
• Поддержание высокого давления: GN2 1/4" MVCJ
• Вакуум: 1/2" MVCJ
• VENT drain: CDA driver, 1/4" SWG
• Пневмоисточник и вентиляция: OD 150MM, silane 810 m3/hr; другие 204 m3/hr
• Интерфейс оператора: 10" цветной сенсорный экран
• Стандартное оборудование: автоматическое переключение, автоматическая промывка, взрывозащищённый шкаф, сигнализация утечки, дистанционное отключение, сигнализация отрицательного давления
• Опции: детекторы пламени, варианты нагрева, Ethernet-модуль, весовая система, датчик избыточного потока, детектор дыма
• Материалы и отделка: нержавеющая сталь 316L электрополированная, поверхность 5Ra для UHP чистоты