Регулятор давления для нагретого газа JR1000

для химических продуктовс диафрагмойодноуровневый

Обзор продукта
Решения для клапанов и регуляторов газов ультравысокой чистоты (UHP), предназначенные для полупроводниковых фабрик и линий распределения газов для передовых фотоэлектрических (PV) систем. Спроектированы для непрерывной работы в чистых помещениях и потоков газа с шестью девятками чистоты.

Основные сведения
UHP‑клапаны и регуляторы являются ключевой инфраструктурой при производстве полупроводников и PV‑элементов. Высокоточные компоненты от зарекомендовавших себя китайских производителей соответствуют международным требованиям по чистоте материалов, герметичности и низкой генерации частиц.

Технические характеристики и материаловедение

• Металлургия высокого класса: кованая нержавеющая сталь 316L, двойного переплава VIM VAR, для минимизации включений и максимальной химической стойкости.
• Топология поверхности: внутренние увлажнённые каналы электро‑полированные до Ra < 5 μin для предотвращения задержки частиц и обеспечения эффективной продувки.
• Герметичное уплотнение: мембраны металл‑к‑металлу с герметичностью по гелию < 1×10-9 atm·cc/s.

Стратегические рыночные преимущества

• Защита выхода продукции: полная изоляция токсичных, коррозионных и пирофорных газов (например, силан, аммиак) в процессе осаждения и травления.
• Интеграция системы: стандартные VCR face‑seal соединения для совместимости с Valve Manifold Boxes (VMB), газовыми шкафами и системами автоматизации.
• Эффективность закупок: прямые поставки для оптимизации затрат при поставке оборудования, сертифицированного для чистых помещений и круглосуточной эксплуатации.

Семейство продуктов — JR1000 Series
JR1000 Series — одноступенчатый регулятор давления для применений с низким и средним расходом.

Характеристики

• Материал корпуса: SS 316L; опция 316L VIM VAR доступна.
• Уплотнение мембраной металл‑к‑металлу.
• Внутренняя электрополированная поверхность с Ra < 5 μin.
• Низкий внутренний объём для минимизации удержания газа.
• Максимальное входное давление до 3500 psig.
• Коэффициенты расхода: Cv 0,09 и Cv 0,15.
• Пропускные способности: стандарт 30 SLPM; опция High Flow (HF) 120 SLPM.
• Сборка и упаковка в чистой комнате; каждая единица проходит гелиевое испытание на герметичность перед отгрузкой.

Ключевые технические данные
Доступны технические чертежи, размерные схемы и кривые расхода, описывающие механическую компоновку, характеристики и матрицу заказа для семейства JR1000. Размеры приведены в миллиметрах; полные спецификации см. в техническом паспортe изделия.

Технические данные / Спецификации

• Серия: JR1000 Series (одноступенчатый регулятор давления).
• Материал корпуса: нержавеющая сталь 316L; опция 316L VIM VAR.
• Отделка намоченных поверхностей: электро‑полировка, Ra < 5 μin.
• Уплотнение: мембрана металл‑к‑металлу; герметичность по гелию < 1×10-9 atm·cc/s.
• Номинальное входное давление: до 3500 psig.
• Коэффициенты расхода: Cv = 0,09 и 0,15.
• Пропускные способности: стандарт 30 SLPM; опция HF 120 SLPM.
• Соединения: стандартный VCR face‑seal для интеграции в VMB и газовые шкафы.
• Применения: полупроводниковые фабрики, продвинутое производство фотоэлектрических элементов, лаборатории и системы распределения газов высокой чистоты.
• Испытания: гелиевое тестирование на герметичность каждой единицы; сборка и упаковка в чистой комнате.