Регулятор давления для газов JR1300

с диафрагмойодноуровневыйиз нержавеющей стали 316L

Клапан газа ультра-высокой чистоты Серия JR1300 Одноступенчатый регулятор — Сертифицирован для чистых помещений, применим в передовых фотогальванических линиях

Обзор
Приобретение сертифицированных для чистых помещений клапанов газа ультра-высокой чистоты критично для передовых производственных линий фотогальваники (TOPCon, HJT). Эти клапаны обеспечивают процессы химического осаждения из паровой фазы (CVD) и распределение специальных газов, поддерживая трубопроводы свободными от частиц, влаги и углеводородов с момента установки.

Ключевые технические преимущества

• Предотвращение загрязнений: Сборка в чистой комнате, промывка деминерализованной водой, сушка ультра-чистым азотом и двойная упаковка удаляют частицы, окружающую влагу и углеводороды перед установкой.
• Передовая металлургия: Корпус кован из нержавеющей стали, сплавленной в двойном вакууме (SS316L / SS316L VAR) для минимизации десорбции и устойчивости к агрессивным технологическим средам (аммиак, силан).
• Нулевой мертвый объем: Оптимизированная внутренняя геометрия предотвращает образование скрытых полостей, обеспечивая быстрые циклы продувки и стабильные переходы процессов.
• Герметичное уплотнение: Металлическая диафрагма с утечкой гелия менее 1×10-9 atm cc/sec обеспечивает герметичный барьер против проникновения кислорода.

Стратегическое влияние на производство
Использование сертифицированного оборудования ультра-высокой чистоты снижает неплановые простои, сохраняет время жизни неосновных носителей в ячейках и поддерживает непрерывную работу 24/7 для максимизации выходной мощности модулей и снижения общей стоимости владения.

Серия JR1300 Одноступенчатый регулятор
Подходит для приложений с низкими и средними расходами.

Характеристики

• Материал корпуса: SS 316L, SS 316L VAR.
• Уплотнение диафрагмой металл-к-металлу.
• Электролитическая полировка внутренних поверхностей с шероховатостью до Ra 5 μin.
• Малый внутренний объем, оптимизированный для быстрой продувки.
• Максимальное входное давление: 600 psig.
• Коэффициент расхода (Cv): 1,1.
• Максимальный расход: 1000 SLPM.
• Процессы сборки и упаковки высокой чистоты; каждая единица проходит проверку на утечку гелием перед отгрузкой.

Технические данные
Чертежи изделия, размерные ссылки, кривые расхода и таблицы заказа предоставляются для серии JR1300 (размеры в миллиметрах приведены только для справки).

Технические спецификации

• Сборка: Сборка в чистой комнате, промывка деминерализованной водой, сушка ультра-чистым азотом, двойная упаковка.
• Материал: Нержавеющая сталь двойной вакуумной плавки; доступны варианты SS316L и SS316L VAR.
• Уплотнение: Диафрагма металл-к-металлу (герметично).
• Утечка гелия: < 1×10-9 atm cc/sec.
• Внутренняя отделка: Электролитическая полировка до Ra 5 μin на увлажняемых поверхностях.
• Внутренний объём: Оптимизирован для нулевого/очень низкого мертвого объёма для обеспечения быстрых продувок.
• Максимальное входное давление: 600 psig.
• Коэффициент расхода (Cv): 1,1.
• Максимальный расход: 1000 SLPM.
• Назначение: Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и распределение специальных газов для передовых фотогальванических линий (TOPCon, HJT).
• Тестирование: Каждая единица проходит проверку на утечку гелием перед отгрузкой.