Регулятор / редуктор давления для газа JR1000

с диафрагмойодноуровневыйиз нержавеющей стали 316L

Обзор
Серия JR1000 — одноступенчатый регулятор снижения давления UHP (ультравысокой чистоты), предназначенный для подачи газов с низким — средним расходом в полупроводниковой и других отраслях с требованиями к высокой чистоте. Выполнен из SS 316L с метал‑к‑металлу уплотнением диафрагмы, что минимизирует внутренний мертвый объём и обеспечивает допуск входного давления до 3500 psig.

Особенности

• Материал корпуса: SS 316L, SS 316L VAR.
• Уплотнение диафрагмы металл‑к‑металлу для UHP‑совместимости.
• Внутренняя электрохимическая полировка, шершавость поверхности до Ra 5 μin.
• Сниженный внутренний мертвый объём для уменьшения загрязнения и времени продувки.
• Максимальное входное давление: до 3500 psig.
• Коэффициент расхода (Cv): 0,09 и 0,15.
• Максимальный расход: стандарт 30 SLPM; High Flow (HF) 120 SLPM.
• Высокочистая сборка и упаковка, подходящие для полупроводниковой/высокочистой эксплуатации.
• Каждый агрегат проходит проверку на утечки гелием перед отгрузкой.

Технические данные
Для расчёта производительности и подбора доступны кривые расхода, чертежи с размерами и технические таблицы (см. изображения и технический паспорт на странице товара).

Размеры изделия
Размеры в миллиметрах приведены для справки и могут быть изменены. Подтвердите актуальные чертежи для установки и интерфейсов.

Технические характеристики

• Серия: JR1000
• Тип: одноступенчатый редуктор давления
• Диапазон расхода: низкий — средний
• Материал корпуса: SS 316L, SS 316L VAR
• Уплотнение диафрагмы: металл‑к‑металлу
• Внутренняя отделка: электрохимическая полировка (шероховатость до Ra 5 μin)
• Внутренний объём: мал (сниженный мертвый объём)
• Максимальное входное давление: до 3500 psig
• Коэффициент расхода (Cv): 0,09 и 0,15
• Максимальный расход: стандарт 30 SLPM; High Flow (HF) 120 SLPM
• Чистота: высокочистая сборка и упаковка для полупроводников/высокочистых применений
• Контроль качества: проверка на герметичность гелием каждой единицы