Регулятор давления для газа JR1000

с диафрагмойодноуровневыйиз нержавеющей стали 316L

Редукционный клапан давления газа серия JR1000 (одноступенчатый) 316L VIM VAR нержавеющая сталь — электрополирован, металлическая мембрана «металл‑металл»

Обзор продукта и назначение
Редуктор давления JR1000 от Jewellok — одноступенчатый регулятор, предназначенный для снижения высокого давления баллона до управляемых рабочих значений для агрессивных, токсичных и коррозионных специальных газов, применяемых в производстве полупроводников и фотогальваники (например, HCl, Cl2, NH3). Предназначен для применений с ультра‑высокой чистотой, где критичны герметичность, малый внутренний объём и химическая стойкость.

Ключевые технические характеристики

• Металлургия VIM VAR: Кован из двойного переплава SS 316L VAR для минимизации включений и повышения стойкости к химической коррозии и водородному охрупчиванию.
• Электрополированные увлажнённые каналы: Внутренние поверхности электрополированы до типичных значений <5 μin Ra для снижения удержания влаги и выделения газов.
• Связанная металлическая мембрана: Мембрана механически связана с клапанным седлом для обеспечения положительного перекрытия при заклинивании из‑за солей или частиц, предотвращая чрезмерное давление в зоне отбора.
• Герметичные метал‑то‑метал уплотнения: Корпусные уплотнения обеспечивают герметичность с утечкой гелия < 1×10-9 atm·cc/s, защищая процессный поток от попадания влаги и кислорода.

Инструкции по установке и эксплуатации
Распаковывать и обращаться с регулятором в сертифицированной чистой комнате. Устанавливать с интегрированными VCR фейс‑сальниковыми соединениями, используя новые металлические прокладки. Выполнить полноценную продувку азотом перед подачей коррозионных или токсичных сред и проверить герметичность соответствующим контрольным газом. Поддерживать плановые инспекции и обслуживание для контроля стабильности давления и продления срока службы.

Серия JR1000
Одноступенчатый регулятор для приложений с низким и средним расходом, требующих химической совместимости и удобства очистки.

Особенности

• Материал корпуса: SS 316L или SS 316L VAR (VIM VAR, двойной переплав)
• Уплотнение мембраны металл‑на‑металл, связанное конструктивно
• Электрополированные увлажнённые поверхности, типично Ra < 5 μin
• Минимизированный внутренний объём для быстрого продува
• Максимальное входное давление: до 3500 psig
• Коэффициент расхода (Cv): 0,09 и 0,15
• Максимальный расход (стандарт): 30 SLPM; высокий расход (HF): 120 SLPM
• Сборка высокой чистоты и упаковка в чистой зоне
• Индивидуальная проверка на утечки гелием перед отгрузкой
• Интегрированные VCR фейс‑сальниковые соединения (использовать новые металлические прокладки)

Технические данные
Герметичные метал‑то‑метал уплотнения с утечками гелия < 1×10-9 atm·cc/s; электрополированные увлажнённые поверхности <5 μin Ra; доступны опции Cv и опубликованные кривые расхода для расчёта. См. прилагаемые чертежи и кривые расхода для выбора и монтажа.

Технические характеристики

• Модель / серия: JR1000 Series (одноступенчатый)
• Материал корпуса: SS 316L или SS 316L VAR (VIM VAR, двойной переплав)
• Уплотнение мембраны: связанная мембрана металл‑на‑металл
• Шероховатость поверхности (увлажнённые пути): электрополированная, тип. Ra < 5 μin
• Герметичность утечки: < 1×10-9 atm·cc/s (гелий)
• Максимальное входное давление: до 3500 psig
• Коэффициент расхода (Cv): 0,09 и 0,15
• Максимальная пропускная способность: стандарт 30 SLPM; высокий поток 120 SLPM
• Внутренний объём: минимизирован для быстрого продува
• Предназначенные среды: агрессивные, токсичные и коррозионные специальные газы (например, HCl, Cl2, NH3)
• Испытания: проверка на утечки гелием; сборка в условиях высокой чистоты и упаковка в чистой комнате
• Соединения: стандартные интегрированные VCR фейс‑сальниковые соединения (использовать новые металлические прокладки)