Автоматическая система подготовки образца IM4000II

для SEMионно-лучевое фрезерование

IM4000II поддерживает как фрезерование поперечного сечения, так и плоское фрезерование для подготовки образцов в зависимости от цели. Контроль температуры охлаждения, блок держателя для защиты воздуха и различные опции позволяют готовить образцы различного сечения. Высокая скорость фрезерования Скорость фрезерования поперечного сечения*1 на IM4000II составляет 500 мкм/ч и более. Это эффективно для твердых материалов, которые обычно требуют длительной обработки. При изменении угла поворота во время фрезерования поперечного сечения меняется соответствующая ширина и глубина обработки. На рисунке ниже показаны SEM-изображения пластины Si после поперечного фрезерования. Условия обработки такие же, как показано выше, за исключением того, что угол поворота уменьшен с ±30˚ до ±15˚. Видно, что глубина обработки больше, чем показано выше, и поэтому она очень эффективна для быстрой подготовки поперечного сечения образцов с целевой структурой, расположенной далеко от верхней поверхности. Гибридное фрезерование Фрезерование поперечного сечения Нетронутая поверхность может быть достигнута путем напыления (фрезерования) выступающих частей образца, которые выходят за границы маски. Облучение ионным пучком параллельно обрабатываемой поверхности образца позволяет добиться плоского и гладкого фрезерования даже при работе со сложными материалами различного состава.