Автоматическая система подготовки образца ArBlade 5000 / IM5000-CTC

для SEMионно-лучевое фрезерованиедля охлаждения

ArBlade 5000 / IM5000 расширяет возможности поперечных срезов серии IM4000 II за счет возможности увеличения поперечных срезов до 10 мм в ширину, в зависимости от фактических требований. Для этого образец периодически перемещается в поперечном направлении во время поперечного разреза в предварительно зарегистрированной зоне обработки, оставаясь в оптимальном фокусе. Последовательная обработка нескольких отдельных позиций также возможна в качестве опции; дополнительный держатель для нескольких образцов позволяет автоматически обрабатывать до 3 образцов. ArBlade 5000 / IM5000 оснащен более мощной ионной пушкой со скоростью удаления более 1 мм в час. С помощью ArBlade 5000-CTC также возможно создание криосечений различной ширины при заданной температуре процесса до -100 °C. Особенности продукта: - Единая, надежная и удобная в обслуживании ионная пушка типа Penning с независимым управлением током пучка и ускоряющим напряжением. Позволяет получать интенсивные ионные пучки при любом ускоряющем напряжении (0-8 кВ) - Ширина поперечного сечения может быть гибко выбрана путем периодического перемещения образца относительно ионного пучка от 1 мм до 10 мм - Глубина поперечного сечения в Si с выступом над маской 100 мкм, колебания стола +/-30°, составляет 1000 мкм в час или более - Полировка поверхности может осуществляться при углах наклона от 0° до 90°, угол может быть изменен во время процесса