Автоматическая система подготовки образца ArBlade 5000

для SEMионно-лучевое фрезерование

Самая современная система широкого ионного пучка для получения исключительно высококачественных образцов поперечного сечения или плоского фрезерования для электронной микроскопии. ArBlade 5000 оснащен быстродействующей ионной пушкой Ar со скоростью фрезерования в два раза выше для достижения передовых характеристик, что значительно сокращает время подготовки поперечного сечения. *1Si выступает на 100 мкм от края маски. Сравнение фрезерования поперечного сечения (Образец: грифель для механического карандаша, время фрезерования: 1,5 часа) Ширина поперечного сечения до 8 мм! Для обработки больших площадей, например, при производстве электронных устройств, была разработана революционная конструкция держателя для поперечного фрезерования, позволяющая выполнять обработку более широких площадей. Пример фрезерования поперечного сечения большой площади (Образец: электронный компонент, время фрезерования: 5 часов) Гибридная модель: Доступна конфигурация с двумя режимами фрезерования Совершенно новая система ионного фрезерования оснащена режимами как поперечного, так и плоского фрезерования для решения самых сложных задач. Оснащенная несколькими держателями, система ArBlade 5000 позволяет выполнять широкий спектр задач. Фрезерование поперечного сечения Используется для получения более широких, неискаженных поперечных сечений без приложения механического напряжения к образцу Плоскостное фрезерование Используется для удаления артефактов поверхностного слоя и окончательной полировки после традиционных методов механической полировки. Криогенные версии ArBlade 5000 обеспечивают активное охлаждение стадии поперечного фрезерования во время обработки образца. Встроенный дьюар с жидким азотом, подключенный к стадии поперечного сечения, эффективно отводит тепло, возникающее при фрезеровании ионным пучком, от защитной маски и образца.