Сфокусированный ионный пучок MR8000

Эта система устранения дефектов фотомасок FPD использует технологию сфокусированного ионного пучка (FIB) и поддерживает фотомаски большого размера. Механизм вращения внутри камеры минимизирует площадь установки. Поддерживает большие маски для дисплеев плоских панелей Может принимать большие фотомаски с максимальным размером 1400×1600 мм. Возможность нанесения пленки с высокой адгезией Возможность формирования пленки с прочностью сцепления, сравнимой с пленкой Cr, на маске с помощью специального газа. Возможность ремонта масок с серыми тонами Функция FIB-осаждения углерода позволяет устранять явные дефекты в полутоновых масках, в которых используются полутоновые пленки. Размеры масок - Макс: 1400×1600 мм Мин: 6 дюймов Максимальная толщина: 15 мм Минимальная толщина: 5 мм Точность ремонта - 50 нм@3σ Метод устранения прозрачных дефектов - FIB-осаждение углерода Метод устранения непрозрачных дефектов - травление с использованием газа