video corpo

Плазменная установка для гравировки полупроводниковых пластин 9000 series
для микроэлектронной промышленности

плазменная установка для гравировки полупроводниковых пластин
плазменная установка для гравировки полупроводниковых пластин
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Тип
плазменная
Применение
для микроэлектронной промышленности

Описание

Для устройств следующего поколения с нормами 20 нм и ниже требуются двойные схемы, трехмерные структуры, а также сложные высокоточные процессы, включающие формирование защитных слоев и методы финишной обработки новых материалов. Для поддержки этих процессов нового поколения компания Hitachi High-Tech разработала систему травления проводников серии 9000. Характеристики 1. В новой платформе HHT 9000 используется запатентованная компанией Hitachi высокоскоростная система переноса с низким содержанием загрязнений, обеспечивающая высокую производительность. Связанная общая платформа обеспечивает гибкость процесса и возможность расширения в будущем благодаря модульной конструкции камеры. 2. Стандартизация платформы и пользовательского интерфейса будет способствовать плавному переходу на 450-мм размеры пластин. 3. Платформа 9000 включает в себя новую микроволновую камеру плазменного травления ECR (Electron Cyclotron Resonance) компании HHT, хорошо зарекомендовавшую себя в условиях крупносерийного производства.

---

Салоны

Вы сможете встретиться с этим поставщиком на выставке(-ах)

analytica 2024
analytica 2024

9-12 апр. 2024 München (Германия) Зал A2 - Стенд 113

  • Дополнительная информация
    36th Control 2024
    36th Control 2024

    23-26 апр. 2024 Stuttgart (Германия) Стенд 7103

  • Дополнительная информация
    Посмотреть все выставки
    * Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.