video corpo

Плазменная установка для гравировки полупроводниковых пластин M-8000 series
для микроэлектронной промышленности

плазменная установка для гравировки полупроводниковых пластин
плазменная установка для гравировки полупроводниковых пластин
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Тип
плазменная
Применение
для микроэлектронной промышленности

Описание

Система травления проводников серии M-8000 используется для травления жесткой маски и кремния для 32 нм и далее. Hitachi High-Tech разработала новые технологические процессы, такие как двойное шаблонирование и новые процессы травления материалов, таких как высокопрочный диэлектрик/металлический затвор, в рамках совместной программы развития (JDP) с производителями устройств и поставщиками материалов и инструментов. Система травления Hitachi High-Tech обеспечивает превосходную управляемость профиля и равномерность CD в пределах пластины благодаря новой микроволновой плазменной камере травления ECR (электронно-циклотронный резонанс), высокоскоростному контролю температуры пластины и технологии контроля выхлопа в высоком вакууме. Технология Hitachi High-Tech AEC (Advanced Equipment Control) / APC (Advanced Process Control) с оригинальными системами сбора, анализа и контроля данных обеспечивает превосходную производительность и надежность. Применимый диаметр пластин: 300 мм Конфигурация системы: 4 камеры (макс.)

---

Салоны

Вы сможете встретиться с этим поставщиком на выставке(-ах)

analytica 2024
analytica 2024

9-12 апр. 2024 München (Германия) Зал A2 - Стенд 113

  • Дополнительная информация
    36th Control 2024
    36th Control 2024

    23-26 апр. 2024 Stuttgart (Германия) Стенд 7103

  • Дополнительная информация
    Посмотреть все выставки
    * Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.