video corpo

Гравировальная машина плазменная ECR M-600/6000 series
для кремния

гравировальная машина плазменная ECR
гравировальная машина плазменная ECR
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Способ
плазменное ECR
Применение
для кремния

Описание

Система травления проводников серии M-600/6000 предназначена для глубокого травления кремниевых траншей силовых устройств, используемых в мобильных системах, бытовых электроприборах, автомобилях, поездах и т.д. Технология низкотемпературного травления и технология смещения TM (временная модуляция) вместе с источником плазмы высокой плотности ECR (электронный циклотронный резонанс) обеспечивают чистый процесс, превосходные профили траншей без боковых остатков и отличную производительность. Применимый диаметр пластин: 150 мм, 200 мм Конфигурация системы: 2 травления + 2 золирования (макс.)

---

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.