Спектрометр масс-спектрометрия с вторичной ионизацией Compact SIMS

для анализадля измеренийбыстрый

Компактный SIMS - конструктивный прорыв для анализа поверхности Прибор Hiden Compact SIMS предназначен для быстрого и простого определения характеристик слоистых структур, поверхностных загрязнений и примесей. Чувствительное обнаружение положительных ионов осуществляется с помощью пучка первичных ионов кислорода и обеспечивает изотопную чувствительность по всей периодической таблице. Установленная геометрия ионной пушки идеально подходит для нанометрового разрешения по глубине и анализа вблизи поверхности. Загрязнение силиконом Тонкие пленки Оптические покрытия Электронные материалы Гибкие солнечные элементы Инструмент Hiden Compact SIMS предназначен для быстрого и простого определения характеристик слоистых структур, поверхностных загрязнений и примесей. Чувствительное обнаружение положительных ионов осуществляется с помощью пучка первичных ионов кислорода и обеспечивает изотопную чувствительность по всей периодической таблице. Геометрия ионной пушки оптимизирована для идеального разрешения нанометровой глубины и анализа вблизи поверхности. Вращающаяся карусель позволяет одновременно загружать 10 образцов для измерения в вакуумную камеру с сухой накачкой. Прибор занимает небольшую площадь и исключительно прост в использовании. Он оснащен тем же программным обеспечением и системой ионной пушки, что и полнофункциональная рабочая станция Hiden SIMS Workstation, обеспечивая профили глубины, 3D и 2D изображения и масс-спектральные данные. В основе детектора MAXIM-600P лежит высоконадежный 6-мм тройной квадрупольный масс-фильтр Hiden с импульсным детектированием ионов. Для анализа изолированных образцов доступна опция электронной пушки. В дополнение к SIMS, Compact SIMS имеет функцию SNMS, которая полезна для количественного определения элементов с высокой концентрацией, например, сплавов.