Измерительная система толщина MicroProf® 100

оптическаядля полупроводниковых пластинкомпактная

FRT MicroProf® 100 - это универсальный инструмент для измерения поверхности, позволяющий быстро и легко определять топографию, толщину пленки и образца. Будучи компактным настольным прибором и, таким образом, самым маленьким представителем семейства мультисенсоров MicroProf, MicroProf 100 обладает полной гибкостью своих старших собратьев. Он основан на нашей проверенной технологии SurfaceSens, в которой различные оптические методы измерения, которые в противном случае можно найти только в отдельных решениях, объединены в универсальное и компактное устройство. Кроме того, FRT MicroProf 100 может быть оснащен опцией TTV для двухстороннего контроля образца. Это позволяет одновременно измерять верхнюю и нижнюю части образца и определять толщину образца в ходе одного и того же процесса измерения. Благодаря модульной конструкции, этот метрологический инструмент может быть адаптирован к конкретным условиям применения. В дополнение к различным датчикам, которые могут быть добавлены, программное обеспечение также может быть индивидуально настроено, а задачи измерения могут выполняться как вручную, так и автоматически.