Измерительная система для полупроводниковых пластин MicroProf® FS

FRT MicroProf® FS - это полностью автоматизированный инструмент для метрологии пластин, конфигурируемый для широкого спектра применений в литейном производстве, с использованием как стандартных, так и индивидуальных решений. Гибкость и универсальность - ключевые слова, когда речь идет о метрологических решениях для современных кремниевых литейных производств. MicroProf FS обеспечивает модульный подход для создания полностью автоматизированного мультисенсорного инструмента, способного решать все необходимые измерительные задачи. Вот почему мы называем его "Звездой литейного производства"! В качестве основного метрологического компонента используется проверенный мультисенсорный метрологический инструмент FRT MicroProf 300, который позволяет измерять различные изделия и - благодаря использованию гибридной концепции метрологии - повышает точность измерений на образцах, где одного датчика или принципа измерения просто недостаточно. Измерительная система MicroProf FS оснащена установкой на гранитном основании, с трехточечным креплением образца или вакуумным патроном.